Optiska komponenter i litografimaskiner

Optisk design har ett brett användningsområde inom halvledarområdet. I en fotolitografimaskin ansvarar det optiska systemet för att fokusera ljusstrålen som avges av ljuskällan och projicera den på kiselskivan för att exponera kretsmönstret. Därför är design och optimering av optiska komponenter i fotolitografisystemet ett viktigt sätt att förbättra fotolitografimaskinens prestanda. Följande är några av de optiska komponenter som används i fotolitografimaskiner:

Projektionsmål
01 Projektionsobjektivet är en viktig optisk komponent i en litografimaskin och består vanligtvis av en serie linser, inklusive konvexa linser, konkava linser och prismor.
02 Dess funktion är att krympa kretsmönstret på masken och fokusera det på den fotoresistbelagda skivan.
03 Projektionsobjektivets noggrannhet och prestanda har en avgörande inverkan på litografimaskinens upplösning och bildkvalitet.

Spegel
01 Speglaranvänds för att ändra ljusets riktning och rikta det till rätt plats.
02 I EUV-litografimaskiner är speglar särskilt viktiga eftersom EUV-ljus lätt absorberas av material, så speglar med hög reflektionsförmåga måste användas.
03 Reflektorns ytnoggrannhet och stabilitet har också stor inverkan på litografimaskinens prestanda.

Optiska komponenter i litografimaskiner1

Filter
01 Filter används för att ta bort oönskade ljusvåglängder, vilket förbättrar noggrannheten och kvaliteten i fotolitografiprocessen.
02 Genom att välja lämpligt filter kan man säkerställa att endast ljus med en specifik våglängd kommer in i litografimaskinen, vilket förbättrar litografiprocessens noggrannhet och stabilitet.

Optiska komponenter i litografimaskiner2

Prismor och andra komponenter
Dessutom kan litografimaskinen även använda andra optiska hjälpkomponenter, såsom prismor, polarisatorer etc., för att uppfylla specifika litografikrav. Valet, designen och tillverkningen av dessa optiska komponenter måste strikt följa relevanta tekniska standarder och krav för att säkerställa litografimaskinens höga precision och effektivitet.

Optiska komponenter i litografimaskiner3 

Sammanfattningsvis syftar tillämpningen av optiska komponenter inom litografimaskiner till att förbättra prestandan och produktionseffektiviteten hos litografimaskiner och därigenom stödja utvecklingen av mikroelektroniktillverkningsindustrin. Med den kontinuerliga utvecklingen av litografitekniken kommer optimering och innovation av optiska komponenter också att ge större potential för tillverkning av nästa generations chip.

För mer information och expertråd, besök vår webbplats påhttps://www.jiujonoptics.com/för att lära dig mer om våra produkter och lösningar.


Publiceringstid: 2 januari 2025